全國(guó)首臺(tái)！在珠海高新區(qū)發(fā)布

日前，由珠海恒格微電子裝備有限公司（以下簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）推出的全國(guó)首臺(tái)晶圓級(jí)“等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備”在珠海高新區(qū)發(fā)布。該設(shè)備的成功面世，標(biāo)志著我國(guó)在高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大技術(shù)突破，為芯片制造國(guó)產(chǎn)化替代注入強(qiáng)勁動(dòng)能。

據(jù)恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)介紹，等離子多驅(qū)解離技術(shù)是恒格微電子十年磨一劍的成果，目前已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段。未來(lái)將持續(xù)加大研發(fā)投入，打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

自主創(chuàng)新破壟斷

核心技術(shù)獲突破

這臺(tái)晶圓級(jí)“等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備”，由恒格微電子歷時(shí)三年多技術(shù)攻關(guān)研發(fā)而成。設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。其核心工藝指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高端刻蝕設(shè)備空白，將顯著降低晶圓廠對(duì)進(jìn)口設(shè)備的依賴，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全升級(jí)。

珠海高新區(qū)黨工委委員、管委會(huì)副主任薛飛表示，恒格微電子從PCB設(shè)備細(xì)分領(lǐng)域龍頭成長(zhǎng)為半導(dǎo)體裝備新銳，充分展現(xiàn)了珠海硬科技企業(yè)的創(chuàng)新韌性與擔(dān)當(dāng)，希望恒格微電子持續(xù)深耕技術(shù)研發(fā)，為粵港澳大灣區(qū)打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高地貢獻(xiàn)力量。

產(chǎn)學(xué)研協(xié)同發(fā)力

產(chǎn)業(yè)鏈共筑生態(tài)

發(fā)布會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，恒格微電子和電子薄膜與集成器件全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室簽署深度產(chǎn)學(xué)研合作協(xié)議，雙方將圍繞半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)、專業(yè)人才培養(yǎng)等領(lǐng)域開(kāi)展戰(zhàn)略合作，加速高校科研成果轉(zhuǎn)化，為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備技術(shù)迭代提供智力支持。

與此同時(shí)，恒格微電子與國(guó)內(nèi)顯示面板龍頭企業(yè)達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議。雙方將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用，加速面板行業(yè)核心裝備國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程；與三疊紀(jì)公司達(dá)成戰(zhàn)略合作，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，為國(guó)產(chǎn)裝備貢獻(xiàn)力量。

從珠海啟航

向全球進(jìn)發(fā)

恒格微電子成立于2005年，深耕等離子技術(shù)領(lǐng)域近二十年，其PCB等離子清洗設(shè)備市場(chǎng)份額穩(wěn)居國(guó)內(nèi)前列。近年來(lái)，恒格微電子瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)，逐步構(gòu)建起覆蓋研發(fā)、制造、服務(wù)的全產(chǎn)業(yè)鏈能力。此次發(fā)布的新品，是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步。

發(fā)布會(huì)后，與會(huì)嘉賓前往恒格微電子制造基地參觀，近距離觀摩設(shè)備產(chǎn)線及工藝演示。

未來(lái)，恒格微電子將以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)，攜手產(chǎn)業(yè)鏈伙伴，助力中國(guó)半導(dǎo)體裝備邁向高端化、國(guó)際化。

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長(zhǎng)期以來(lái)，珠海高新區(qū)把集成電路產(chǎn)業(yè)作為引領(lǐng)區(qū)域創(chuàng)新發(fā)展的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，瞄準(zhǔn)高端半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、設(shè)備制造、晶圓代工和先進(jìn)封裝等領(lǐng)域強(qiáng)鏈、延鏈、補(bǔ)鏈，推動(dòng)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)集群式發(fā)展，已初步形成“設(shè)計(jì)—制造—封裝—測(cè)試”全產(chǎn)業(yè)鏈體系。

半導(dǎo)體與集成電路企業(yè)數(shù)量和經(jīng)濟(jì)規(guī)模位居珠海市首位，2024年實(shí)現(xiàn)規(guī)上經(jīng)濟(jì)規(guī)模達(dá)106.62億元，近5年年均增長(zhǎng)率超過(guò)20%，已成為珠海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主陣地。

接下來(lái)，珠海高新區(qū)將繼續(xù)以最優(yōu)政策支持、最優(yōu)載體配套、最優(yōu)營(yíng)商環(huán)境、最優(yōu)人才生態(tài)，助力企業(yè)打造更多集成電路產(chǎn)業(yè)標(biāo)桿品牌。